Excimer Laser Annealing Equipment System
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ELA 6G-V-750
Flexible AMOLED 패널용 6세대 양산 장비
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Specifications
Laser Model | VYPER |
Laser Wavelength | 308nm |
Laser Stabilized Power (Max.) | 2400W (4000mJ) |
Laser Repetition Rate (Max.) | 600Hz |
Laser Energy Stability | ≤ 0.35% |
Laser Pulse Duration | 24 ± 4ns |
Line Beam Size | 1000 mm X 0.6 mm |
Stage Type | 6G Single Plane Air Bearing X, Y Stage with Z & R axis |
