Excimer Laser Annealing Equipment System
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ELA 5.5G-V-750
LCD 및 OLED 패널용 5.5세대 연구 장비
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Specifications
Laser Model | VYPER |
Laser Wavelength | 308nm |
Laser Stabilized Power (Max.) | 1200W (2000mJ) |
Laser Repetition Rate (Max.) | 600Hz |
Laser Energy Stability | ≤ 0.45% |
Laser Pulse Duration | 24 ± 4ns |
Line Beam Size | 750 mm X 0.4 mm |
Stage Type | 5.5G Single Plane Air Bearing X, Y Stage with Z & R axis |
