Excimer Laser Annealing Equipment System
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ELA 4.5G-540C-465
LCD 패널용 4.5세대 양산 장비
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Specifications
Laser Model | LSX 465C |
Laser Wavelength | 308nm |
Laser Stabilized Power (Max.) | 500W (1000mJ) |
Laser Repetition Rate (Max.) | 500Hz |
Laser Energy Stability | ≤ 0.5% |
Laser Pulse Duration | 29 ± 6 ns |
Line Beam Size | 465 mm X 0.35 mm |
Stage Type | 4.5G Single Plane Air Bearing X, Y Stage with Z & R axis |
