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MICRO CMM
MICRO CMM

복잡한 형상을 갖는 가공물의 치수 정밀 측정 광학 부품을 포함한 초소형 부품의 치수 정밀 측정

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구입문의
Feature
  • Process Performance

    ​· 6자유도 측정을 위한 6개의 레이저 스케일 적용

    ​· 아베 오차 “0” 실현을 위한 최적 설계

    ​· Plane Mirror 적용

    ​· 온습도,기압 센서 적용으로 능동형 보정 가능


  • Productivity / Hardware

    ​· 대칭형 고강성 구조로 안정성 확보 ​

    · 기상 오차에 대한 고려

    ​· 고정도 프로브 및 광학계 탑재

    ​· 구동부와 이송차의 유연한 연결 구동

    ​· 터치식과 광학식 측정이 가능

    ​· 고객 맞춤 Hardware / UI Software

Specifications


Parameter
Categorization
Specification
Type & Base
Window Type & Granite
Scale
Laser Interferometer Encoder (6ea)
Travel Length
X
300mm
Y
300mm
Z
50mm
Measuring Sensor
Touch Probe
Renishaw PH6M + TP7M
Optical Probe
CCD SONY 1/1.8 2Mega Pixel + NAVITAR Tube Lens (Object Lens)
Weight
2.5 ton
MPE

E1 (X&Y) : 0.15 um

E1 (Z) : 0.15um

E3 : 0.3um


■ 고객 사양에 따른 대응 가능 (Customize)