나노 임프린팅
나노 스케일의 스탬프를 원형 롤에 장착하여 하부 롤과의 압력 및 열을 가하여 유연성 필름 기판에 미세 패턴을 직접 형성하는 장비
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Feature
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Process Performance
· Unwinder Module, Imprinting Module, Rewinder Module로 구성
· Unwinder, Rewinder Module : Web Guide System인 EPC를 장착하여 Tension Control를 통해 Web의 일정한 장력 유지
· Imprinting Module : 표면 이물 제거
– Web Heating
– 미세패턴 형성
– Web Cooling의 Process 진행
· 형성된 패턴을 영상으로 보기 위해 Line Scan Camera 장착
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Productivity / Hardware
· Roll-to-Roll방식으로 미세패턴을 유연성 기판에 직접 각인 함으로써 공정 단계가 획기적으로 감소
· 유연성 금속 스탬프를 이용하여 마이크로 및 나노 크기 패턴을 자유롭게 각인 가능
· 열 및 압력 가압롤을 사용하여 높은 각인율을 구현
· 기존 인쇄 및 각인공정에 의한 패터닝보다 선폭의 형상이 균일 (광학적 특성 우수)
Specifications
Parameter | Specification | Remark | |
Size | 4100 X 1000 X 1700mm | ||
Weight | 5톤 | ||
시편 | Web 폭 | 400mm | |
Web 이송 속도 | 10mm/s | ||
바닥에서 부터 인쇄면 높이 | 1200mm | ||
구동 | Unwinder & Rewinder | AC Motor + 감속기(20:1) + 앵귤러콘택트베어링 | 2축 |
Imprinting Roll (회전) | AC Motor + 감속기(100:1) + 앵귤러콘택트베어링 | 1축 | |
Imprinting Roll (상하 이송 및 틸팅) | Harmonic Motor + Ball Screw+ LM Guide | 2축 |
고객 사양에 따른 대응 가능 (Customize)