원통 롤 측정 검사기
원통 롤 측정 검사기
PDP, LCD, Solar Cell 등의 인쇄 전자 패턴을 위한 Gravure Roll을 측정 / 검사하기 위한 장비
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Feature
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Process Performance
· Roll의 외형 : 지름, 진원도, 원통도
· 패턴 측정 : Roll 표면 패턴의 폭, 깊이, 프로파일, Pitch, Gap 등
· 마크 측정 : Roll 표면 마크의 크기, 마크 간의 거리 등
· 롤 장착 및 회전 장치, 이동량 보정 센서
· Φ500mm ~ Φ1100mm 의 대형롤 측정 가능
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Productivity / Hardware
· Granite Base Frame 사용으로 대형롤 장착 시에도 기구 변형량 최소화
· 외부 진동 차단을 위한 Vibration Isolator
· 롤 장착 오차 및 축방향 오차 검출 및 보정
· 롤의 회전량을 직접 측정하기 위해 링스케일 사용
· 각 속도 리플 0.5% 이내의 우수한 회전 속도 제어
Specifications
Parameter | Categorization | Specification |
패턴 위치 계측 | XYZ Repeatability | 2um |
XYZ Accuracy | 4um | |
Rotary Repeatability | 2um | |
Rotary Accuracy | 4um | |
셀 형상 계측 | Lateral Resolution | 1um |
Vertical Resolution | 0.1um | |
롤 형상 계측 | Roundness & Cylindricity | 2um (선 길이 환산) |
Diameter Repeatability | 2um | |
Diameter Accuracy | 4um |
■ 고객 사양에 따른 대응 가능 (Customize)